美国ALICAT流量计是采用层流压差原理的高精度气体及液体质量流量与压力控制器/测量仪表。其核心技术在于内置的精密层流元件和独特的“Co-Flow”设计，能够精确测量极低至满量程的宽范围流量。产品响应速度极快（典型值可达毫秒级），并直接显示质量流量、体积流量、压力及温度等多参数，支持数百种气体或液体介质的预置标定，无需重新校准即可切换介质。ALICAT流量计以其卓越的准确性、出色的重复性、强大的通信兼容性（如Modbus、模拟量、DeviceNet等）以及直观的前面板操作，广泛应用于科研、半导体、燃料电池、医药生产及过程工业等需要精密流体控制的领域。
一、品牌背景
美国ALICAT流量计是由Alicat Scientific公司生产的质量流量计和流量控制器，该公司自1991年成立以来专注于为科研和工业领域提供高精度的流量与压力测量解决方案
二、品牌产品
ALICAT气体流量,ALICATM系列 质量流量计,ALICAT液体流动,ALICATL系列液体流量计,ALICAT压力,ALICATP 系列压力表,ALICAT气体混合器,ALICAT气体模块
三、产品型号
ALICAT MQ-2SLPM-D/CM, GAS: Air, RANGE (120 NL/h), P2: 0-15 barG
四、具体产品
气体流量
M系列 质量流量计
传感器性能
质量流量精度：
标准精度：±(0.8% 读数 + 0.2% 满量程)
高精度选项（5 SCCM 型号）：±(0.4% 读数 + 0.2% 满量程)
重复性 (2σ)：±(0.2% 读数 + 0.02% 满量程)
压力精度：
高于 1 atm：±0.5% 读数
低于 1 atm：±0.07 PSIA
流量测量范围：0.01–100% 满量程（10,000:1 调节比）
工作压力：11.5–160 PSIA
压力灵敏度：
质量流量零点偏移和范围偏移：±(0.08% 读数 + 0.02% 满量程) 每个大气压力从校准条件
温度灵敏度：
质量流量零点偏移和范围偏移：0.02% 满量程 每 °C 从 25°C
温度精度：±0.75°C
工作温度范围：−10–60°C（环境和气体）
累积器体积不确定性：±0.1% 读数 额外不确定性
传感器响应时间：<1 毫秒
典型指示响应时间：<10 毫秒，依赖于流量速率
典型预热时间：<1 秒
机械特性
过程连接：M5 女螺纹（10-32 兼容），随附 Buna-N O 型圈面密封至 1/8″ NPT 女螺纹
接触材料：302, 303, 304, 和 316L 不锈钢；FKM，铝土矿陶瓷，玻璃，金，热固化环氧树脂，热固化硅胶，聚酰胺，硅
较大压力：
常模式压力超过 200 PSIA 可能损坏
快速压力变化超过 75 PSI 差压可能损坏
相对湿度范围：0–95%，不凝结
防护等级：IP40（咨询 Alicat 以获取防风雨选项）
安装方向灵敏度：无
安装孔：2× 8-32 UNC 螺纹孔，直径 0.175″ [4.45 mm]
电源和通信
数字输出选项：
RS-232 串行和 Modbus RTU（默认）
RS-485 串行和 Modbus RTU，Modbus TCP/IP，DeviceNet，EtherCAT，EtherNet/IP，PROFINET，PROFIBUS
数字数据更新速率：40 Hz @ 19200 波特率
模拟输出选项：
4–20 mA，0–5 Vdc，1–5 Vdc，0–10 Vdc
模拟数据更新速率：1 kHz
模拟信号精度：±0.1% 满量程 额外不确定性
互动显示：单色 LCD 或彩色 TFT 显示器，配有集成触控板；同时显示质量流量、体积流量、温度和压力
显示更新速率：10 Hz
电气连接选项：
6 针锁紧，8 针迷你 DIN，8 针 M12，9 针 DB-9，15 针 DB-15（联系 Alicat 获取定制引脚配置）
电源要求：
0–5 Vdc 输出：9–24 Vdc，40 mA
0–10 Vdc 输出：12–28 Vdc，40 mA
4–20 mA 输出：12–28 Vdc，40 mA
特性
STP 参考条件：25°C 和 1 atm（默认），用户可配置
NTP 参考条件：0°C 和 1 atm（默认），用户可配置
Gas Select™：98 种用户可选择的气体内部存储。每种气体经过优化，以匹配 NIST 的 REFPROP 10 气体属性计算，确保最高精度。
COMPOSER™：20 种用户定义的气体混合物。每种混合物最多可包含 5 种气体，分辨率为 0.01% 成分。
流量和过程数据
满量程流量：满量程流量时的压力降，通向大气
0.5–5 SCCM：1.0 PSID
便携设备（MB 系列）
电源要求：5 Vdc，1 A 推荐通过 USB 插座适配器
电池寿命：
单色屏幕：18 小时，用户可配置，取决于对比度
彩色 TFT 屏幕：8 小时，用户可配置，取决于对比度
电气连接：串行通信和通过 Micro-USB 供电
蓝牙® 低功耗（需要 Alicat Connect 应用程序和兼容的 Android 或 iOS 移动设备）
充电温度：0–45°C
尺寸：高度增加 1.646″ [41.81 mm]，重量增加 0.2 lb. [90.72 g]
液体流动
L系列液体流量计
传感器性能
体积流量精度：±2% 满量程（校准条件下）
重复性 (2σ)：±0.2% 满量程
流量测量范围：2–100% 满量程
温度灵敏度：
体积流量零点偏移：每 °C 从去皮温度 0.02% 满量程
体积流量范围偏移：每 °C 从校准温度 0.02% 满量程
工作温度范围：−10–60°C
温度精度：±0.75°C
工作压力：满量程 100 PSIG
压力精度：±0.5% 满量程
累积器体积不确定性：±0.5% 读数 额外不确定性
传感器响应时间：<1 毫秒
典型指示响应时间：<10 毫秒，依赖于流量速率
典型预热时间：<1 秒
机械特性
最小工作压力：差压必须超过型号压力降，详见下文
较大工作压力：
常模式压力超过 200 PSIG 可能损坏
快速压力变化超过 75 PSI 差压可能损坏
防护等级：IP40（咨询 Alicat 以获取防风雨选项）
接触材料：302, 303, 304 和 316L 不锈钢；FKM（Viton）
通信
模拟 I/O 选项：4–20 mA，0–5 Vdc，1–5 Vdc，0–10 Vdc
数字 I/O 选项：
默认：RS-232 串行
RS-485 串行，Modbus RTU（通过 RS-232 或 RS-485 串行），Modbus TCP/IP，DeviceNet，EtherCAT，EtherNet/IP，PROFIBUS
便携设备（LB 系列）：通过 Micro-USB Type B 的 RS-232
电气连接选项：6 针锁定，8 针 mini-DIN，8 针 M12，DB-9，DB-15（联系 Alicat 获取自定义引脚）
便携设备（LB 系列）：通过 Micro-USB Type B 供电
电源要求：
0–5 Vdc 输出：9-28 Vdc，40 mA
0–10 Vdc 输出：12-28 Vdc，40 mA
4–20 mA 输出：12-28 Vdc，80 mA
便携设备（LB 系列）：5 Vdc，1 A 推荐通过适配器 USB 供电
电池寿命（LB 系列）：
单色 LCD：14-18 小时（取决于背光）
彩色 TFT：8 小时
数字数据更新速率：40 Hz @ 19200 波特率
模拟数据更新速率：1 kHz
显示：
单色 LCD 或彩色 TFT 显示，集成触摸板；同时显示流量、温度和压力
显示更新速率：10 Hz
模拟信号精度：±0.1% 满量程 额外不确定性
范围特定技术数据
满量程流量：
0.5–1 CCM：全量程流量的压力降 2.0 PSID，M5 女螺纹（10-32 兼容），2× 8-32 UNC 0.175 in [4.45 mm]
2–500 CCM：全量程流量的压力降 2.0 PSID，1/8″ NPT 女螺纹，2× 8-32 UNC 0.325 in [4.45 mm]
1 LPM：全量程流量的压力降 4.0 PSID，1/8″ NPT 女螺纹，2× 8-32 UNC 0.325 in [9.53 mm]
2 LPM：全量程流量的压力降 4.0 PSID，1/4″ NPT 女螺纹，2× 8-32 UNC 0.350 in [8.38 mm]
5 LPM：全量程流量的压力降 10.0 PSID，1/4″ NPT 女螺纹，4× 8-32 UNC 0.375 in [8.38 mm]
10 LPM：全量程流量的压力降 20.0 PSID，1/4″ NPT 女螺纹，4× 8-32 UNC 0.375 in [8.38 mm]
五、产品优势
超高精度与重复性：
满量程精度高达 ±0.4%，读数的精度可达 ±0.2%。
重复性极佳，可达 ±0.05% RD。
极快的响应速度：
得益于层流技术和高速电磁阀，流量稳定时间可快至10-100毫秒，远超许多其他类型的流量计。
量程比宽：
典型量程比可达 1000:1（例如，一个仪表可测量从满量程的0.1%到100%的流量），使用灵活。
真正的多气体/多液体兼容：
无需重新校准，只需在菜单或通过通讯协议选择流体种类，仪表自动切换计算参数。这是其最大优势之一，特别适合需要频繁更换工艺气体的场合。
六、典型应用
半导体与光伏制造：MOCVD、PECVD、扩散、刻蚀等工艺的气体输送与控制。
燃料电池研发与测试：氢气、空气、氮气等气体的精确配比与流量控制。
生物制药与发酵：呼吸代谢气体分析（O₂， CO₂）、发酵罐进气控制。
分析仪器：作为气相色谱（GC）、质谱仪等仪器的气路控制部件。
高校与科研实验室：各种需要精确气体/液体流量控制的实验装置。
环境监测：烟气采样、标气稀释。
增材制造（3D打印）：金属3D打印中的保护气与载气控制。